Technológia TFT bola vyvinutá v 90. rokoch. Prijíma nové materiály a nové procesy pre veľkovýrobnú technológiu výroby polovodičových integrovaných obvodov. Používa sa na ploché panely s tekutými kryštálmi (LC), anorganické a organické elektroluminiscencie v tenkom filme (EL a OEL). základe. TFT je nejednotná oblátka, ako je napríklad sklenený alebo plastový substrát (samozrejme môže byť aj na oblátke) prostredníctvom rozprašovania a chemického nanášania, pri ktorých sa vytvárajú rôzne filmy potrebné pre výrobu obvodov a integrované obvody veľkého rozsahu polovodičov (LSIC ) sa vyrábajú spracovaním fólií. . Použitie podkladov, ktoré nie sú z jedného kryštálu, môže výrazne znížiť náklady a predstavuje rozšírenie tradičných rozsiahlych integrovaných obvodov do veľkoplošných, multifunkčných a lacných smerov. Je technicky náročnejšie vyrábať TFT, ktoré riadia spínací výkon pixelov (LC alebo OLED) na veľkoplošných sklenených alebo plastových podkladoch, ako vyrábať veľkoplošné integrované obvody na kremíkových doštičkách. Požiadavky na výrobné prostredie (stupeň čistenia je 100), požiadavky na čistotu surovín (čistota elektronického špeciálneho plynu je 99,999985%) a požiadavky na výrobné zariadenia a výrobnú technológiu presahujú rozsiahlu integráciu polovodičov . Je to vrchol modernej veľkovýroby. technológie. Jeho hlavné vlastnosti sú:
(1) Veľká plocha: Prvá generácia veľkoplošnej sklenenej podložky (300 mm × 400 mm), výrobná linka TFT-LCD, bola uvedená do výroby na začiatku 90. rokov. Do prvej polovice roku 2000 sa plocha skleneného substrátu rozšírila na 680 mm × 880 mm) a veľkosť skleneného substrátu bola 950 mm × 1 200 mm. Taktiež bude uvedený do prevádzky sklenený substrát. V zásade neexistuje žiadne plošné obmedzenie.
(2) Vysoká integrácia: 1,3-palcový TFT čip používaný na projekciu z tekutých kryštálov má rozlíšenie XGA, ktoré obsahuje milióny pixelov. Hrúbka filmu 16,1-palcového TFT poľa amorfného kremíka s rozlíšením SXGA (1280 × 1024) je iba 50 nm a technológie TAB ON GLASS a SYSTEM ON GLASS, integrácia jeho IC, požiadavky na vybavenie a napájaciu technológiu a technické ťažkosti Všetky prevyšujú tradičné LSI.
(3) Výkonné funkcie: TFT sa prvýkrát použil ako obvod umiestnenia matice na zlepšenie charakteristík svetelných ventilov tekutých kryštálov. V prípade displejov s vysokým rozlíšením sa reguláciou napätia v rozmedzí 0-6 V (zvyčajne 0,2 až 4 V) dosahuje presná kontrola objektu, čo umožňuje displejom LCD dosiahnuť kvalitné a vysokorozlišovacie displeje. TFT-LCD je prvý plochý displej v histórii ľudstva, ktorý v kvalite zobrazenia presahuje CRT. A ľudia začnú integrovať ovládač IC na sklenený substrát a funkcia celého TFT bude výkonnejšia, čo sa tradičným rozsiahlym polovodičovým integrovaným obvodom nevyrovná.
(4) Nízke náklady: Sklenený substrát a plastový substrát zásadným spôsobom riešia problém s nákladmi na rozsiahle polovodičové integrované obvody a otvárajú široký aplikačný priestor na aplikáciu rozsiahlych polovodičových integrovaných obvodov.
